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wafer mount設備改造升級
發表日期：2019-05-23 12:37 文章編輯：admin 浏覽次數(shù)：
wafer mount設備改造升級，修改安川機器(qì)人(rén)及歐姆龍PLC程序，增加人(rén)工放晶圓歪斜導緻停機後，防止回原點時(shí)機器(qì)人(rén)損壞晶圓的保護功能。
标簽：wafer mount,設備改造,安川機器(qì)人(rén)
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